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노광기 타입에 따른 분류

관리자   /   2020-04-16

노광기는 여러 타입에 따라 분류가 됩니다.

간단한 설명 드립니다.

 

1. 광원에 따른 분류 : 평행광 - 타원경, FEL, 미러, 구면경, 렌즈 등을 적용, 접촉식 노광으로 미세패턴을 구현 가능

                                  산란광 - 광 세가가 강하고 노출 시간이 짧은 조건으로 패턴 형성에 적합

 

2. 노광 방식에 따른 분류 : 접촉식 - 기판의 감광막과 마스크를 접촉시킨 상태에서 UV를 조사하는 노광 방식

                                          비 접촉식 - 기판과 마스크 사이에 Gap만큼 띄운 상태에서 Uv를 조사하는 노광 방식

                                          투영 노광 - 마스크와 Wafer사이에 거리를 두고, 평행광 렌즈 광학계를 통해서 반박 step하면서 회로 패턴을 구현하는 노광 방식

 

3. 노광기 종류에 따른 분류 : 자동화 노광기(Hard/Soft/Gap) -   PSR(Photo Solder Resist) , RTR( Roll To Roll) , DF( Dry Film) , 내층/외층 , 시트/롤

                                             스캔 노광기 - 마스크 상부에서 광원을 조사하는 광학계가 스캔 노광하는 방식

                                             스탭퍼(Step/Repeat) - 마스크 상부에서 광원을 조사하는 광학계가 패턴을 축소하여 노광하는 방식

                                             마스크 얼라이너 - 마스크와 wafer 사이에서 일정 거리를 가지거나, 접촉한 상태에서 1:1비율로 노광하는 방식

                                             LDI(Laser Direct Imaging) / DI - 마스크리스(Maskless) 방식으로 직접 묘화로 노광, 고밀도, 미세 회로 선폭 구현

 

 





 


※기타스펙 및 문의사항은 아래 연락처로 문의하여 주시기 바랍니다. 


 

옵티플렉스  041-588-0188


국내영업    010-3555-2436   naejari@naver.com,   optiflex1@naver.com


중국영업   +86-185-7506-2129



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