MASK ALIGNER(Wafer) 마스크 얼라이너 (웨이퍼)

Colimated UV LED

UV LED 평행광 광원 마스크 얼라이너

반도체, 웨이퍼, 마스크 복제용, 샘플용 소형 노광기

Machine Spec

exposure area       :  6 ~ 8inch

Uniformity            :  ≤5%

wavelength           :  365nm

Intersity               :  >20mw/㎠

Attenuation           :  <30>

CA                   : 1.5°

Alignment method     :  manual 

Alignment accuracy   :  1um

Process mode        :  Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity(adjust gap)

Line/space            :  1um/1um

Dimensions (mm)      :  1000*1000*1800

Utilities                :  200V single-phase electric, CDA, 5kgf/㎠

※기타스펙 및 문의사항은 아래 연락처로 문의하여 주시기 바랍니다. 

옵티플렉스  041-588-0188

국내영업    010-3555-2436 naejari@naver.com, optiflex1@naver.com

중국영업   +86-185-7506-2129

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