※  MASK ALIGNER(Wafer) 마스크 얼라이너 (웨이퍼)

Collimated UV LED  

UV LED 평행광 광원 마스크 얼라이너.

반도체, 웨이퍼, 마스크 복제용, 샘플용 소형 노광기

※ Machine Spec

exposure area                 6 ~ 8inch

Uniformity                       ≤5%

wavelength                     365nm

Intensity                         ＞20mw/cm²

Attenuation                    ＜30% within 10,000Hr

CA                                    1.5º

​Alignment method        manual

Alignment accuracy      1 um

Process mode                Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity(adjust gap)

Line/space                     1 um / 1 um

Dimensions (mm)        1000*1000*1800

Utilities                           220V single-phase electric ,  CDA, 5kgf/㎤ 

※ 기타 스펙 및 문의사항은 아래 전화로 연락주시면 방문 후 설명 드리겠습니다.

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