U^​V^​ L^​E^​D^​ UNIT ( UV LED 평행광 광원)

용도 : 마스크 얼라이너  Mask Aligner  소형 노광기 노광 스테이지

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Composition             : UV LED Unit + Power Supply + Chiller(Option)  

Working Size             : 150 X 150mm 200 X 200mm 300 X 300mm ( 6" 8" 12")

Wave Length             : 365nm or 395nm

Uniformity                : ≥ 90% (변경가능)

Intensity                  : 20mW/㎠(365nm) , 25mW/㎠(395nm) 

Collimation Angle(CA)     : ≤ 1.5˚

Declimation Angle(DA)    : ≤ 0.5˚

Rated electric power     : ≤175W(220V) - 150X150  , ≤700W(220V) - 300X300

Rated Current(A)         : 0.5A - 150X150mm        ,  2A - 300X300mm 

Operating Mode         : Time / Test / Shutter

Control Method          : Shutter Signal(24V)

Option                  : Chiller(Water Cooling Type)